第455章 EBL光刻机开始测试(明天开始正常更新)(第3/3 页)
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随着启动按钮的按下,设备发出轻微的嗡鸣声,逐渐运转起来,显示屏上开始闪烁着数据。
“设备正常运转!”组长略有兴奋,说明路子是对的。
当然,要测试自然要拿实物硅片进行。
实验室里已经准备好了许多片涂上光刻胶的硅片,EBL光刻机与传统的光刻机不同,它无需掩膜版,直接写入。
光刻机的工作原理,简单来说,就是把硅片当成一块黑板,然后在黑板上画电路图。
而紫外线或电子束(EBL光刻机)就是粉笔,粉笔的粗细就是线条的粗细。
由于黑板大小固定,要想画更多的图,自然是粉笔越细越好,但相应地对技术要求更高,就越难画。
黑板上的一层膜,对应光刻胶。
画完图后,将硅片浸泡在腐化剂中,失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。
用专业的角度来说,
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